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BL300-A06是一款专为12寸晶圆设计的多功能设备，适用于RCA清洗、PR STRIP、介质膜刻蚀、金属刻蚀、有机清洗及晶圆再生等多种工艺。该设备采用先进的PC+PLC配置，支持E84、GEM/SECS、EAP、FDC等多种行业标准协议，确保操作的高度自动化与智能化。BL300-A06配备了6个可客制化的工艺槽体，可根据客户需求灵活调整，还有完善的安全保护机制，包括防撞、漏水漏液及自动消防系统，为设备的安全运行提供了坚实保障。
BC200-A06是一款适用于6寸和8寸晶圆的多功能设备，涵盖RCA清洗、PR STRIP、介质膜刻蚀、金属刻蚀、有机清洗及晶圆再生等多种工艺。其卓越的工艺指标包括极低的碎片率（≤1/100000）、高可靠性（UPTIME≥95%）以及出色的颗粒控制能力（Particle≤20@0.16um）。可选配的片盒交换机构、CDS浓度计等高端配件，以及良好的温度、浓度、压力、流量控制功能，使BC200-A06在各种复杂工艺中都能保持卓越表现。
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