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单片刻蚀

SC300-F08是一款专为12寸晶圆设计的高效单片刻蚀及清洗设备。该设备采用先进的PC+PLC配置,支持多种行业标准协议如GEM/SECS、EAP、E84等,确保了高度自动化与智能化的操作体验。此外,设备还具备强大的药液回收系统,回收率高达95%以上,有效降低了生产成本。SC300-F08展现出的卓越性能,是单片刻蚀设备的理想选择。

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