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槽式清洗
BC200-A06是一款适用于6寸和8寸晶圆的多功能设备，涵盖RCA清洗、PR STRIP、介质膜刻蚀、金属刻蚀、有机清洗及晶圆再生等多种工艺。其卓越的工艺指标包括极低的碎片率（≤1/100000）、高可靠性（UPTIME≥95%）以及出色的颗粒控制能力（Particle≤20@0.16um）。可选配的片盒交换机构、CDS浓度计等高端配件，以及良好的温度、浓度、压力、流量控制功能，使BC200-A06在各种复杂工艺中都能保持卓越表现。
产品说明
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型号 |
BC200-A06 |
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适用晶圆 |
6”/8” |
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工艺应用 |
晶圆RCA清洗,PR STRIP,介质膜刻蚀，金属刻蚀，有机清洗，晶圆再生 |
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工艺指标 |
碎片率 |
≤1/100000 |
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UPTIME |
≥95% |
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Particle |
≤20@0.16um |
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软件控制 |
PC+PLC配置，支持GEM/SECS,EAP,FDC等功能 |
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设备配置 |
6个工艺槽体（可客制化4-14槽体） |
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先进的IPA干燥单元 |
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多支搬运机械手及自动隔离门提高搬送效率及防止交叉污染 |
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片盒交换机构可选配 |
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CDS、浓度计等可选配 |
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良好的温度控制，浓度控制，压力控制，流量控制等 |
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完善的安全保护机制，包括防撞，漏水漏液及自动消防系统 |
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营业执照
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