发展历程

2024年

2024 - 苏州分公司成立
•公司组织架构优化

2024年

2023年

关键专利成型
•Etch工艺技术迭代
•真空及等离子工艺耦合
•Single型设备DFM
•核心部品自主化

2023年

2022年

工艺沉淀及延伸
•SC型槽式清洗设备
•PA清洗工艺设备
•RCA清洗工艺设备
•GATE清洗工艺设备

2022年

2020年

部品验证及整机开发
•腔体材料效应分析
•机械结构耦合
•热模组材料及设计
•槽式设备量产交付

2020年

2018年

研发团队重组
•台湾及大陆研发重组
•封测及先进封装清洗技术迭代
•玻璃基清洗技术样本获取
•热工学及流体力学验证
•半导体硅基材料介质研究
•化学液及其反应原理验证

2018年