关于我们
About us
发展历程
2024年
2024 - 苏州分公司成立
•公司组织架构优化

2023年
关键专利成型
•Etch工艺技术迭代
•真空及等离子工艺耦合
•Single型设备DFM
•核心部品自主化

2022年
工艺沉淀及延伸
•SC型槽式清洗设备
•PA清洗工艺设备
•RCA清洗工艺设备
•GATE清洗工艺设备

2020年
部品验证及整机开发
•腔体材料效应分析
•机械结构耦合
•热模组材料及设计
•槽式设备量产交付

2018年
研发团队重组
•台湾及大陆研发重组
•封测及先进封装清洗技术迭代
•玻璃基清洗技术样本获取
•热工学及流体力学验证
•半导体硅基材料介质研究
•化学液及其反应原理验证

营业执照



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