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槽式清洗
BL300-A06是一款专为12寸晶圆设计的多功能设备，适用于RCA清洗、PR STRIP、介质膜刻蚀、金属刻蚀、有机清洗及晶圆再生等多种工艺。该设备采用先进的PC+PLC配置，支持E84、GEM/SECS、EAP、FDC等多种行业标准协议，确保操作的高度自动化与智能化。BL300-A06配备了6个可客制化的工艺槽体，可根据客户需求灵活调整，还有完善的安全保护机制，包括防撞、漏水漏液及自动消防系统，为设备的安全运行提供了坚实保障。
产品说明
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型号 |
BL300-A06 |
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适用晶圆 |
12” |
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工艺应用 |
晶圆RCA清洗,PR STRIP,介质膜刻蚀，金属刻蚀，有机清洗，晶圆再生等 |
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工艺指标 |
碎片率 |
≤1/100000 |
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UPTIME |
≥95% |
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Particle |
≤20@0.09um |
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软件控制 |
PC+PLC配置，支持E84,GEM/SECS,EAP,FDC等功能 |
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设备配置 |
6个工艺槽体（可客制化4-14槽体） |
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先进的IPA干燥单元 |
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可靠的EFEM系统，可搭载2-4个FOUP Load port |
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多支搬运机械手及自动隔离门提高搬送效率及防止交叉污染 |
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CDS、浓度计等可选配 |
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良好的温度控制，浓度控制，压力控制，流量控制等 |
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完善的安全保护机制，包括防撞，漏水漏液及自动消防系统 |
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