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单片浸泡去胶

SR300-F05是一款适用于6寸、8寸和12寸晶圆的光阻及Polymer去除设备。SR300-F05提供了可客制化的槽体配置，包括1至2个浸泡槽体、1至4个高压冲洗腔体和1至4个清洗干燥腔体，满足不同生产需求。多级过滤机构设计使得维护更加便捷，同时可选配DICO2配置和CDS浓度计等高端配件，进一步提升了设备的功能性和灵活性。良好的温度、浓度、压力、流量控制功能，使SR300-F05在各种复杂工艺中都能保持卓越表现。

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