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单片浸泡去胶
SR300-F05是一款适用于6寸、8寸和12寸晶圆的光阻及Polymer去除设备。SR300-F05提供了可客制化的槽体配置，包括1至2个浸泡槽体、1至4个高压冲洗腔体和1至4个清洗干燥腔体，满足不同生产需求。多级过滤机构设计使得维护更加便捷，同时可选配DICO2配置和CDS浓度计等高端配件，进一步提升了设备的功能性和灵活性。良好的温度、浓度、压力、流量控制功能，使SR300-F05在各种复杂工艺中都能保持卓越表现。
产品说明
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型号 |
SR300-F05 |
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适用晶圆 |
6”/8”/12” |
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工艺应用 |
晶圆光阻及Polymer去除 |
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工艺指标 |
碎片率 |
≤1/20000 |
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UPTIME |
≥95% |
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Particle |
≤20@0.2um |
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软件控制 |
PC+PLC配置，支持E84,GEM/SECS,EAP,FDC等功能 |
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设备配置 |
1至2个浸泡槽体（可客制化） |
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1至4个高压冲洗腔体（可客制化） |
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1至4个清洗干燥腔体（可客制化） |
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多级过滤机构设计便于维护 |
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可搭配DICO2配置 |
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CDS、浓度计等可选配 |
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良好的温度控制，浓度控制，压力控制，流量控制等 |
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营业执照
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