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单片刻蚀
SC300-F08是一款专为12寸晶圆设计的高效单片刻蚀及清洗设备。该设备采用先进的PC+PLC配置，支持多种行业标准协议如GEM/SECS、EAP、E84等，确保了高度自动化与智能化的操作体验。此外，设备还具备强大的药液回收系统，回收率高达95%以上，有效降低了生产成本。SC300-F08展现出的卓越性能，是单片刻蚀设备的理想选择。
产品说明
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型号 |
SC300-F08 |
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适用晶圆 |
12” |
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工艺应用 |
晶圆单片刻蚀及清洗 |
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工艺指标 |
碎片率 |
≤1/20000 |
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UPTIME |
≥95% |
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Particle |
≤20@0.06um |
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软件控制 |
PC+PLC配置，支持E84,GEM/SECS,EAP,FDC等功能 |
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设备配置 |
8个工艺腔体（可客制化2-8腔体） |
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可靠的EFEM系统，可搭载2-4个FOUP Load port |
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可配置2-6种化学品 |
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药液回收系统配置，回收率>95% |
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DIO3系统可选配 |
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CDS、浓度计等可选配 |
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良好的温度控制，浓度控制，压力控制，流量控制等 |
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营业执照
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